设备详细信息
溅射系统(AJA Orion 5)(DRTY 108)
AJA国际ATC猎户座系列溅射系统是流行的ATC旗舰系列物理气相沉积工具的紧凑版本，旨在为有限的预算提供最大的性能。这些高压和特高压系统继承了高度发展的ATC溅射工具的许多设计特征和通用部件。标准ATC Orion模块(舱室、框架、集群法兰等)通常在AJA库存，从而缩短了交付时间。
Orion 8的特殊版本也具有(4)2“磁控管溅射源与原位倾斜能力。ATC Orion系统还可以轻松地相互连接或与其他ATC系统进行多室(例如金属/氧化物)或多技术(例如溅射/蒸发/PLD/离子铣床)配置。
规格:
- 五支2英寸的喷枪
- 石英晶体厚度监测器
- 衬底架:
- 衬底直径可达4英寸
- 连续电动旋转(0-20转/分)与控制器
- 采用石英卤素灯辐射加热至850℃
- 溅射沉积过程中的基底射频偏压
- 计算机控制
- 沉积均匀性:优于4 "直径晶圆+/- 2.5%
- 基础真空:优于或等于5.0 × 10^-8托
- 在30分钟或更短的时间内从清洁，干燥和N2排气后清空泵送至5x10^-7 Torr
- Ti (2 Å/sec)和SiO2 (0.5 Å/sec)的最大沉积速率
金属蒸发室(JCAIN 308)
丹顿台式涡轮- iv (BTT-IV)是一种高真空薄膜沉积系统。它可以支持多达两个源共沉积，并可用于热阻蒸发，高真空碳涂层，溅射样品制备，孔径清洗和旋转阴影。
规格:
- 终极真空:5 x 106托
- 真空系统:70升/秒涡轮分子泵，油机械泵
原子层沉积(ALD)系统(JCAIN 321)
Ultratech / Cambridge NanoTech Savannah S200 ALD系统提供了出色的沉积结果，并为ALD研究、开发和生产应用提供了最大的实验灵活性。它可以在原子水平上控制材料表面沉积的厚度(亚纳米到几十纳米)和组成。它可以在颗粒或多孔材料上进行薄膜沉积或涂层。目前有三种前驱体可用于沉积TiO2， MgO和Al2O3.．其他前体可根据要求提供。它的位置是JCAIN 321。
规格:
- 可沉积在直径达200mm的平面基底上
- 最大衬底温度- 350℃
- 沉积均匀性< 1% (Al2O3.）
- 多达6行可用于前体
- 颗粒涂层附着
- 臭氧发生器
水芹单炉(JCAIN 320)
水芹单炉可用于硬化样品和控制工艺温度高达2250°F (1230oC)
规格:
- 最大间歇温度:2250°F (1230oC)
- 最高连续温度:2100°F (1150oC)
- 控制:基于微处理器的自动调谐控制器
- 加热元件:高温铁铝丝
水芹双炉(JCAIN 320)
水芹双炉(双室炉，C2121)在最小的地板空间内提供两个单独控制的加热室。这炉是为表面硬化而设计的。这两个腔室允许立即回火或淬火后拉丝，而不需要等待硬化炉冷却到所需的较低温度。
规格:
上院- 最大间歇温度:2250°F
- 最高连续温度:2100°F
- 最大间歇温度:1250°F
- 最高连续温度:1100°F
- 控制:基于微处理器的自动调优控制1%精度的¼。
- 加热元件:合金丝元件盘绕安装在侧壁上。
HV-50高压灭菌器(JCAIN 308)
HV-50高压灭菌器可用于灭菌设备，工具(玻璃，陶瓷，金属或橡胶)，液体(水，介质，试剂)，琼脂，和生物危险废物使用高压和高温，琼脂。该高压灭菌器具有可编程自动启动，可在1周后启动一个循环，并且具有双感应盖联锁功能，可在室压或温度超过97°C时防止盖打开。
规格:
- 腔容量:50升
- 灭菌温度范围:105°C ~ 135°C
- 压力表范围:3至30 psi(0.02至0.206MPa)
- 最大允许压力表压力:38 psi (0.26MPa)
- 杀菌时间:1分钟至250分钟
- 自动启动定时器:1分钟至7天
盐雾室(JCAIN 309)
盐雾室的设计是为了测试一种材料抵抗盐水(盐水)侵蚀的能力。这些材料可以包括在电器、电气硬件和其他配件中。所有测试室都可以进行盐水和醋酸铜测试。单次测试周期可设置为0.01s ~ 9999h。
规格:
- 内部尺寸(WxDxH): 64″x 40″x 20″
- 外形尺寸(WxDxH):100″x 52″x 56″
- 试验箱容积:800L(28.2立方英尺)
- 溶液储层体积* 1:40 l (1.4 cu ft)
- 可拆卸的开槽样品棒:16杆(12架)
- 雾化喷嘴:2个
- 盖升降机:可用/td>
- 无人值守工作天数:7天
- 气泡塔容积:4L(0.14立方英尺)
- 建设:PVC
- 颜色:灰色
- 温度范围:高达+60°C(试验箱)
- 温度精度:±0.1°C
- PVC结构:高达+70°C(气泡塔)
- 盐雾收集速率:可调1.0至2.0毫升每80厘米²每小时
- 喷淋压力:0.8~2.0kgf/cm²(压缩空气驱动)
- 电源:三相，电源来源取决于安装的国家/地区
- 排气:应在建筑物外安装排气管
- 排水管:排水管应安装在地面排水管上